Keysight SMU - das Kombi-Gerät für den Test

Keysight SMUs

Was soll eine SMU leisten?

Die SMU (Source Measure oder Meter Unit) hat sich als ein wichtiges Mess- und Test-Gerät im Bereich der Prüfung von Bauelementen und Baugruppen etabliert. Der Gerätetyp vereint eine bis zu 4-Quadrant Stromversorgung mit einem Präzisions-Messgerät für Spannung und Strom.

Bei der SMU steht je nach Anwendung häufig eine dieser drei Anforderungen im Fokus:

  • Hohe Kanaldichte bei umfangreichen Testaufgaben (IC-Test, Burn-in-Test),
  • hohe Geschwindigkeit in zeitkritischen Produktionstests oder
  • hohe Auflösung/Niedrigstrom bei Anwendungen, bei denen es auf Präzision ankommt (HF-Komponenten etc.).

Aus Kostengründen ist es schwierig, alle drei Bedingungen mit einem Gerät zu erfüllen.

Keysight bietet Lösungen für verschiedene Anwendungsbereiche. Am flexibelsten ist wahrscheinlich der SMU-Mainframe PZ2100. Das System ist modular aufgebaut und bietet 4 Steckplätzen. Für alle drei Anforderungen sind passende Module verfügbar - ganz nach Bedarf und Budget kombinierbar.

Typische Anwendungsbereiche für Keysight SMUs

  • PZ2110A: Präzisions-SMU für Schwachstromanwendungen, HF-Komponententest.
  • PZ2120A und PZ2121A: Hochgeschwindigkeits-SMU für dynamische/gepulste Messungen, VCSEL, DVT für IC, IC-Funktionstest (>3 A oder >200 kS/s erforderlich).
  • PZ2103A und PZ2131A: SMU mit hoher Kanaldichte für Mehrkanalanwendungen, Bias-Source für IC-Tests, Burn-in-Test von ICs/Modulen.
  • B2900B-Serie: Allzweck-Tisch-SMU für statische Charakterisierung für ein breites Spektrum an Bench-top-Anwendungen mit großem Ausgangsbereich; Charakterisierung von Bauelementen.
  • N6700-Serie mit SMU- und anderen Modulen: Dynamische Charakterisierung, Batterieentladungstest, IC-Funktionsprüfung.

Modell-Übersicht

Modell Typ Technische Daten
PZ2100A Modulare SMU, Mainframe 4 Steckplätze, bis 20 Kanäle in einem System; LCD-Anzeige; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
Modell Typ Bereich Spannung, Strom Auflösung Weitere Funktionen
PZ2110A 1-Kanal hochauflösendes SMU-Modul 210 V, 315 mADC 10 fA Impuls 315 mA/20 µs;
Digitizer-Modus 1,25 MS/s
PZ2120A 1-Kanal schnelles SMU-Modul 60 V, 3,5 ADC 100 fA Impuls 10,5 A/50 µs;
Digitizer-Modus 1 MS/s
PZ2110A 1-Kanal schnelles SMU-Modul 60 V, 3,5 ADC 100 fA Impuls 10,5 A/10 µs;
Digitizer-Modus 15 MS/s
PZ2130A 5-Kanal Multikanal-SMU-Modul 30 V, 500 mADC 100 pA -
PZ2131A 5-Kanal Multikanal-SMU-Modul 30 V, 500 mADC 10 pA Impuls 500 mA/100 µs;
Digitizer-Modus 500 kS/s
 
Modell Typ Technische Daten
B2900B-Serie Benchtop-SMU Je nach Modell grafisches Single-/Graph-/Dual-/Roll-View Display; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
Modell Typ Bereich Spannung, Strom Auflösung Weitere Funktionen
B2901BL 1-Kanal 21 V, 1,515 ADC Source: 1 µV, 10 pA;
Meter: 100 nV, 1 pA		 Digitizer 200 µs
B2910BL 1-Kanal 210 V, 1,515 ADC Source: 1 µV, 100 fA;
Meter: 100 nV, 10 fA		 Digitizer 50 µs
B2901B 1-Kanal 210 V, 3,03 ADC Source 1 µV, 1 pA;
Meter: 100 nV, 100 fA		 Digitizer 20 µs
B2902B 2-Kanal Digitizer 20 µs; Dual-View
B2911B 1-Kanal 210 V, 3,03 ADC Source: 100 nV, 10 fA;
Meter: 100 nV, 10 fA		 Digitizer 10 µs; Roll-View
B2912B 2-Kanal Digitizer 10 µs; Dual- und Roll-View
 
Modell Typ Technische Daten
N6700C Modulare Stromversorgung, Mainframe 4 Steckplätze/4 Kanäle bis 400 W; LCD-Anzeige; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
N6701C Modulare Stromversorgung, Mainframe 4 Steckplätze/4 Kanäle bis 600 W; LCD-Anzeige; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
N6702C Modulare Stromversorgung, Mainframe 4 Steckplätze/4 Kanäle bis 1200 W; LCD-Anzeige; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
N6705C Modularer Leistungs-Analysator, Mainframe 4 Steckplätze/4 Kanäle bis 600 W; großes grafisches Display; USB, LAN/Ethernet/LXI, GPIB
Modell Typ Bereich Spannung, Strom U, I Messgenauigkeit Weitere Funktionen
N6781A 2-Quadrant-SMU-Modul 600 mV/6 V/20 V, ±300 mA 0,025% + 1,2 mV, 0,03% + 0,25 mA Für Batterie-Entladungs-Analyse
N6782A 2-Quadrant-SMU-Modul 20 V, ±3 A 0,025% + 1,2 mV, 0,03% + 0,25 mA Für Funktionstest
N6784A 4-Quadrant-SMU-Modul ±20 V, 3 A 0,025% + 1,2 mV, 0,03% + 0,25 mA Universell